news center行业动态
当前位置:主页 >>新闻中心 >>行业动态

回转工作台的驱动方式

  来源:www.jnldby.com
  在半导体专用设备制造过程中,工作台往往需要实现一定度数范围内的旋转、定位从而满足加工工艺的要求。因此,实现工作台可靠、平稳旋转,精准落位,是半导体专用设备制造关键技术。在现代化的生产设备中,传统的工作台驱动方式是通过电机减速器直接作用于轴系,带动工作台旋转,这种装置在实际应用中存在一定的不足,运转不平稳,震动大,噪音大,由于转动惯量不匹配,导致工作台落位时难以停稳,定位精度不能满足工艺需求,从而大大降低了设备可靠性。
  在近几年的机械工业创新发展机床行业。在原有的回转工作台基础上,把普通丝杆较换成滚珠丝杠,在铸铁的导轨面上镶嵌直线导轨。把变速箱电机较换成伺服电机。
  1、气压驱动:气压驱动具有,系统结构简单,维修方便等特点,适用于中小负载的系统中。难于实现伺服控制,多用于程序控制的滑台机械手,在上下料和冲压设备中应用较多。
  2、电动驱动:随着低惯量、直流伺服电机及配套的伺服驱动器的广泛应用,这种驱动系统被大量选用,在很大范围内发生作用。
  3、液压驱动:液压驱动具有动力大,惯量大,响应,易于实现直接驱动等特点,适用于承载能量大,环境中工作的滑台机械手。
上一条:没有了
下一条:回转工作台的定位偏差与调整
城市分站:主站   

网站地图 |

XML 地图 | Sitemap 地图